450-Міліметрові пластини в напівпровідниковому виробництві

Перехід на 450-міліметрові пластини в напівпровідниковому виробництві поки протікає не дуже швидко. Але контролювати якість таких пластин можна буде вже зараз. компанія
вчасно підметушилась і випустила систему контролю якості підкладок Alta Sight Dark View. Перед початком використання пластини-підкладки проганяють через цю систему в пошуках явних і прихованих дефектів. Система використовує підсвічування на різних довжинах хвиль і розсіяний лазерний промінь.

Подібне обладнання дозволяє провести відразу декілька тестів пластин діаметром від 100 до 450 мм з усіх боків. Компанія-виробник стверджує, що її система виявляє 100% дефектів і все за один прохід.

Мінімальний розмір виявленого дефекту - всього лише 50 нм, а пропускна здатність - 100 підкладок на годину. Замовники вже можуть вибудовуватися в чергу за новою системою, в січні 2012 року її почнуть відвантажувати.



Увага, тільки СЬОГОДНІ!

Увага, тільки СЬОГОДНІ!

» » 450-Міліметрові пластини в напівпровідниковому виробництві